TiZrNbTaMo高熵合金表面化學(xué)氣相沉積制備多晶金剛石膜

摘要： 本文以親碳元素組成的TiZrNbTaMo高熵合金作為基材，通過化學(xué)氣相沉積的方法在其表面沉積金剛石膜。結(jié)果表明：金剛石能夠在TiZrNbTaMo高熵合金表面快速形核，形核密度高達(dá)7.53×10~9 cm^-2，且在30 min內(nèi)形成連續(xù)的金剛石膜；金剛石在TiZrNbTaMo高熵合金表面的形核密度及生長速率遠(yuǎn)高于在組成高熵合金的單質(zhì)金屬表面的形核密度及生長速率。這是由于在金... （共10頁）