基于過焦掃描光學顯微術的套刻誤差檢測方法研究

摘要： 針對套刻誤差測量，提出了一種基于過焦掃描光學顯微技術（TSOM）結合深度學習模型的測量方法，利用傳統(tǒng)光學顯微鏡采集不同偏移量的套刻標識圖像，建立TSOM圖集，通過卷積神經(jīng)網(wǎng)絡模型對套刻標識偏移量進行回歸預測，最終得到套刻誤差預測結果的誤差小于0.1 nm，重復精度（3σ）優(yōu)于0.25 nm。實驗結果表明，基于TSOM結合深度學習的測量方法實現(xiàn)了亞納米級精度套刻誤差測量。該方法可... （共8頁）