300 mm晶圓翹曲檢測豎直裝夾形變分析及驗證

摘要： 針對晶圓翹曲檢測中晶圓受外力引入附加形變難以消除及量化的問題，面向快速高精度晶圓翹曲工業(yè)檢測提出一種改進(jìn)的豎直自動裝夾方案，具有精確約束、裝夾流程簡單等優(yōu)勢。借助理論分析和有限元仿真結(jié)合晶圓翹曲表征方法，提出了一種晶圓裝夾設(shè)計的分析方法，得到了不同關(guān)鍵設(shè)計參數(shù)與晶圓附加翹曲的關(guān)系，實現(xiàn)了豎直裝夾機(jī)構(gòu)關(guān)鍵參數(shù)的正向設(shè)計，并基于設(shè)計結(jié)果進(jìn)行了重復(fù)裝夾驗證實驗。分析及實驗結(jié)果表明，豎... （共11頁）