實時激光通信用自由運行InGaAs/InP單光子探測器（特邀）

摘要： 為實現(xiàn)高速、高靈敏度、低成本的激光通信，優(yōu)化改進(jìn)一種新的InGaAs/InP單光子雪崩二極管（SPAD）以更好地使其應(yīng)用于單個單光子探測器（SPD）探測的近紅外激光通信系統(tǒng)。與上一代相比，優(yōu)化各層結(jié)構(gòu)的同時，在其中加入了介質(zhì)-金屬反射層并改進(jìn)了雙Zn擴(kuò)散工藝。在1.25 GHz高頻正弦門控（SWG）工作模式、225 K溫度和6 V偏置下，所制備的InGaAs/InP SPAD實... （共8頁）