氟等離子體對(duì)石墨烯納晶碳膜的刻蝕加工及摩擦學(xué)性能調(diào)控

摘要： 針對(duì)石墨烯低摩擦特性在宏觀應(yīng)用中存在的機(jī)械強(qiáng)度低、磨損壽命短等問(wèn)題，提出采用氟等離子體刻蝕加工調(diào)控石墨烯納晶碳膜以提升其摩擦學(xué)性能。通過(guò)表征刻蝕加工對(duì)碳膜形貌和結(jié)構(gòu)的影響，提出氟等離子體刻蝕加工機(jī)理包括原子去除和離子注入兩方面。一方面刻蝕加工可通過(guò)物理轟擊或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)去除碳膜表面原子，有效降低碳膜表面粗糙度。另一方面刻蝕加工可通過(guò)亞表面注入使碳膜表層結(jié)構(gòu)重組，sp~3鍵含量增... （共11頁(yè)）