質(zhì)譜儀用分離打拿極電子倍增器結(jié)構(gòu)優(yōu)化

摘要： 設計了一種用于質(zhì)譜儀的19級分離打拿極電子倍增器的結(jié)構(gòu)，構(gòu)建了器件結(jié)構(gòu)模型，仿真研究了打拿極和收集極的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)參數(shù)及末級分壓電阻阻值對電子倍增器增益的影響，通過分析器件內(nèi)部電場分布和電子運動軌跡，探究了影響機理，在此基礎(chǔ)上對打拿極和收集極的結(jié)構(gòu)及末級分壓電阻進行了優(yōu)化。仿真結(jié)果表明，當?shù)?打拿極左側(cè)壁長度和收集極頂部長度分別為2.35 mm和1.9 mm并且末級分壓電阻阻值為0... （共7頁）