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可實現(xiàn)大質(zhì)量數(shù)檢測的四極桿質(zhì)譜計的關(guān)鍵參數(shù)設(shè)計及仿真研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 頁數(shù): 8 2024-09-03
摘要: 隨著中國科技的進(jìn)步、技術(shù)的發(fā)展,特殊工程密閉環(huán)境內(nèi)的氣體成分需要精確檢測,被檢測對象除了小質(zhì)量數(shù)(200 amu以內(nèi))氣體成分之外,還包含重要的有機(jī)大質(zhì)量數(shù)成分;氣體成分最有效的檢測儀器之一就是四極質(zhì)譜計,中國質(zhì)譜計研發(fā)單位大多數(shù)都集中在小質(zhì)量數(shù)產(chǎn)品的設(shè)計生產(chǎn),可測大質(zhì)量數(shù)(可達(dá)1000 amu)的四極質(zhì)譜計設(shè)計報道很少;文章設(shè)計了四極質(zhì)譜計桿長、場半徑、入口孔徑、裝配精度等機(jī)... (共8頁)

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