光柵光譜儀前置和后置分光構(gòu)型下光調(diào)制反射譜應(yīng)用的不同特征

摘要： 光調(diào)制反射光譜因其高靈敏的特性而廣泛的用于研究半導(dǎo)體及其表面與界面特性?；诠鈻殴庾V儀其測量光路根據(jù)分光順序的不同可以分為前置分光構(gòu)型（暗構(gòu)型）與后置分光構(gòu)型（亮構(gòu)型）。本文以InP/In_(0.52)Ga_(0.48)As/InP異質(zhì)結(jié)外延結(jié)構(gòu)為例，闡述了兩種光路構(gòu)型的不同特點和適用條件。揭示前分光構(gòu)型能很好地分離熒光譜線與調(diào)制譜線；后分光構(gòu)型則有利于采用較強調(diào)制激光而有效提... （共6頁）