一維亞波長紅外偏振光柵全息光刻加工

摘要： 亞波長光柵作為一種體積小，易于集成，消光比高的偏振選擇器件，在遙感探測、材料應力探測和抗散射成像等領域有著豐富的應用前景。本文設計了高消光比，高透過率的一維亞波長光柵偏振選擇器件，并實現(xiàn)其高效的加工方式。首先，基于等效介質理論和有限時域差分對光柵進行設計和仿真，設計了一種對全息干涉加工友好的雙層金屬結構的一維亞波長光柵偏振器件，具有占空比穩(wěn)定及易于圖形轉移的優(yōu)勢。之后搭建了全息... （共10頁）

全息光刻雙層金屬光柵亞波長光柵偏振選擇