微熱流矢量傳感器的聲號筒增敏結(jié)構(gòu)設(shè)計

摘要： 為了能有效提高微熱流矢量傳感器的靈敏度，同時不改變其“8”字指向性，設(shè)計了一種微型聲振速號筒結(jié)構(gòu)，可以在不增加電噪聲的前提下，實現(xiàn)微熱流MEMS傳感器在工作頻段內(nèi)的物理增敏，且對MEMS芯片起到保護(hù)作用。通過COMSOL中的熱粘性聲學(xué)模塊，建立聲號筒仿真模型對理論方程進(jìn)行求解，選擇最優(yōu)的雙錐管型結(jié)構(gòu)；改變聲號筒的尺寸參數(shù)，確定聲號筒的加工尺寸；將MEMS技術(shù)加工的微熱流傳感器和... （共8頁）