全局與局部多尺度特征融合晶圓缺陷分類網(wǎng)絡(luò)

摘要： 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓缺陷分類是確保產(chǎn)品質(zhì)量的重要步驟。然而，由于晶圓缺陷的多樣性和復(fù)雜性，現(xiàn)有的混合型晶圓缺陷分類網(wǎng)絡(luò)在準(zhǔn)確性上仍然存在不足。針對(duì)這一問(wèn)題，提出了一種基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圓缺陷分類網(wǎng)絡(luò)—MLG-Net。MLG-Net由3個(gè)主要模塊組成：特征提取模塊、全局分支和局部分支。該網(wǎng)絡(luò)旨在更好地提取和利用晶圓缺陷圖像的全局語(yǔ)義信息與局部細(xì)節(jié)特征，這兩種... （共11頁(yè)）