開放環(huán)境中大氣壓氬氣微等離子體射流特性

摘要： 微等離子體射流具有較高的等離子體密度和處理精度，廣泛應(yīng)用在納米材料制備、精密加工和表面刻蝕等領(lǐng)域，然而開放環(huán)境中大氣壓微等離子體射流特性的調(diào)控方法和機(jī)制尚不明晰。為此搭建了大氣壓微等離子體射流源及原位診斷系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了直徑為50～200μm的大氣壓氬氣微等離子體射流，并通過電壓/電流波形、射流圖像和發(fā)射光譜分析了毛細(xì)管內(nèi)徑、氣體流量、施加電壓對(duì)微等離子體放電特性、射流長(zhǎng)度、氣體溫... （共10頁）