基于雙層三維太赫茲超材料的多功能傳感器

摘要： 傳感器作為集成化器件中至關(guān)重要的部分，其多功能性越來越受到重視。本文介紹了一種基于雙層三維諧振結(jié)構(gòu)耦合的太赫茲超材料多功能傳感器。傳感裝置包括上下兩層聚酰亞胺薄膜基底，附著在下層聚酰亞胺薄膜基底上的石墨層，以及在石墨層和上層聚酰亞胺薄膜基底之間的周期性雙層三維齒形耦合諧振結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)包括下層對稱山形結(jié)構(gòu)和上層對稱凹形結(jié)構(gòu)。該三維超材料結(jié)合多層結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)多功能測量：可通過諧振頻率... （共9頁）